项目名称

空气产品（厦门）电子气体有限公司（一期生产线）新增备用氮气纯化器及配套管道项目专项安全评价

项目简介

空气产品（厦门）电子气体有限公司成立于2013年，是厦门天马微电子有限公司的专业气体供应商，注册地址位于厦门火炬高新区（翔安）产业区翔安西路6999号Q1栋。Q1栋位于厦门天马微电子有限公司厂区内，于2014年建成，占地面积3240m²，总建筑面积1050m²，设有氢气供应系统、氦气供应系统、液氧气化供气系统、液氩气化供气系统、低温空分制取氮气/粗氧装置、备用液氮气化供气系统及氧气、氢气、氮气、氩气、氦气的提纯设施等，Q1栋面向厦门天马微电子有限公司一期生产线提供氧气、氮气、氢气、氩气、氦气的供应，并于2015年5月首次取得安全生产许可证。2021年2月25日，该企业通过安全生产许可证换证，证书编号：闽（WH）安许证字（2015）000008（换）号。安全生产许可证许可范围：氮（压缩的）17500Nm3/h、氧（压缩的）592Nm3/h、氩（压缩的）54Nm3/h、氦（压缩的）88Nm3/h、氢（压缩的）60Nm3/h，有效期至：2024年5月7日。

空气产品（厦门）电子气体有限公司一期Q1高纯氮气供应系统只配置了一台氮气纯化器，该台纯化器若出现设备故障，将导致高纯氮气供应中断，造成天马微电子停产的严重后果。因此，空气产品（厦门）电子气体有限公司拟增设一台备用纯化器，当主用纯化器故障和维护期间，备用纯化器投用实现连续供应，确保氮气供应可靠性，备用氮气纯化器平时处于停用状态。

项目组长

余穗荣

项目组成员

余穗荣、翁俊萍、陈志隆、韩新福、潘虎

现场评价人员

余穗荣、戴金儒

现场评价时间

2022.08.02

过程控制负责人

何晓玥

技术负责人

邱有富

报告编制人

余穗荣、翁俊萍、韩新福

报告审核人

戴金儒

技术专家

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评价时间

2022.06~2022.08

报告提

交时间

2022.8.30

到现场开展评价活动的照片